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緊湊、強勁、超平穩(wěn)!smartPX&PH3運動控制方案破解芯片制造的空間與穩(wěn)定難題

http://www.debgrams.com 2025-12-01 14:48 來源:智企新聞網(wǎng)

在現(xiàn)代化半導(dǎo)體晶圓廠(FAB)這座龐大的“芯片城市”中,空中軌道上飛馳的天車搬運系統(tǒng)如同高效運轉(zhuǎn)的“智能交通網(wǎng)”。OHT如何實現(xiàn)晶圓在數(shù)百道工序間高效、平穩(wěn)、無損的空中傳送?其背后離不開一套強大而智慧的驅(qū)動核心。

天車OHT的核心挑戰(zhàn)

1.空間極限:天車小車內(nèi)部結(jié)構(gòu)緊湊,需在有限空間內(nèi)最大化裝載量,驅(qū)動與電機必須小而強、輕而勁。

2.穩(wěn)定可靠:晶圓價值昂貴,任何系統(tǒng)抖動或突發(fā)停機都可能造成巨大損失。伺服系統(tǒng)必須極致平穩(wěn),堅若磐石。

3.智能易用:復(fù)雜的產(chǎn)線要求系統(tǒng)能夠快速調(diào)試、智能適應(yīng)不同工況,降低對調(diào)試人員的技術(shù)依賴。

高創(chuàng)黃金組合--smartPX&PH3

面對挑戰(zhàn),高創(chuàng)的smartPX多合一驅(qū)動一體機與PH3伺服電機并非簡單的部件疊加,而是深度協(xié)同、性能互補的一體化解決方案,為OHT帶來全方位的性能躍升。

優(yōu)勢一:極致緊湊,釋放天車內(nèi)部空間

高度集成:smartPX以六軸一體的驅(qū)動設(shè)計,取代傳統(tǒng)的多個獨立驅(qū)動器,極大簡化電氣結(jié)構(gòu),節(jié)省寶貴空間。

輕量強勁:PH3電機在緊湊的結(jié)構(gòu)下,蘊藏強勁動力。兩者結(jié)合,完美滿足了天車對“小體積、大能量”的苛刻要求,為增加裝載量提供了硬件基礎(chǔ)。

優(yōu)勢二:極致平穩(wěn),守護每一片珍貴晶圓

智能抑振:smartPX內(nèi)置多種先進抑振技術(shù),能有效抑制機械共振;其輸入整形濾波功能,能完美消除天車啟停及加減速過程中的末端機械抖動,確保晶圓在高速運行中“穩(wěn)如泰山”。

動力保障:PH3電機在額定3000rpm內(nèi)可提供高達3.77倍的過載轉(zhuǎn)矩,應(yīng)對突發(fā)負載;同時在高速區(qū)間(最高7000RPM)仍能提供至少1倍的額定轉(zhuǎn)矩,保障直線疾馳與彎道平穩(wěn)的順暢切換。

低溫可靠:PH3電機在額定工況下,機殼溫升不高于60K,散熱優(yōu)異,穩(wěn)定耐用,從根源上避免了因過熱導(dǎo)致的報警停機,為實現(xiàn)“零損傳輸”保駕護航。

優(yōu)勢三:極致智能,賦能高效部署與運維

一鍵自整定:smartPX搭配PH3電機,可通過一鍵自整定功能,快速實現(xiàn)最優(yōu)控制參數(shù)匹配,將復(fù)雜的調(diào)試過程極致簡化,大幅縮短設(shè)備上市時間。

自適應(yīng)控制:方案支持搭配增益表,能針對天車的直線高速、彎道低速等不同工況,自動切換控制參數(shù),實現(xiàn)全程自適應(yīng)的高性能控制。

摩檫力補償:smartPX的摩檫力自動補償功能,能克服系統(tǒng)非線性因素,確保在任何點位都能實現(xiàn)精準的定位與平滑的速度控制。

在半導(dǎo)體制造這片精密的疆域,每一個細節(jié)都決定著最終的成敗。高創(chuàng)運動控制提供的smartPX&PH3一體化解決方案,以其高度集成、卓越性能、極致穩(wěn)定和智能易用的協(xié)同優(yōu)勢,成功化解了天車OHT系統(tǒng)的核心痛點,成為了半導(dǎo)體晶圓空中高速傳送的可靠基石。

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