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歐姆龍開發燃料電池用MEMS流量傳感器“形D6F-70”
http://www.debgrams.com 2011-01-18 15:56 來源：歐姆龍中國
歐姆龍于2011年1月14日發布了可測量燃料電池氣體流量的新款MEMS流量傳感器“形D6F-70”（圖1）。此前產品可測量的最大流量為50升/分，而此次的產品提高至70升/分。2011年1月25日開始上市。2013年度的銷售目標約為20萬個。
該產品設想用于家用燃料電池系統空氣極的流量控制。該用途“需要具有70升/分的檢測性能”（歐姆龍），因此對原產品作了改進。“通過改進內部流路的構造而實現”（該公司）。配備的MEMS流量傳感器元件與原產品相同，尺寸為1.55mm×1.55mm×0.4mm。形D6F-70的外形尺寸為84.6mm×32mm×30mm。
歐姆龍計劃2012年度上市可測量的最大流量為200升/分的產品。該產品將用于商用燃料電池系統等。
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