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產(chǎn)品型號(hào) 技術(shù)參數(shù)
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JKZC-DH6
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JKZC-DH8
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JKZC-DH12
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探針臺(tái)本體
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主體材料
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航空鋁
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航空鋁
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航空鋁
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整機(jī)尺寸（mm）
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750L*550W*680H
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800L*580W*680H
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930L*700W*680H
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重・
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75kg
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95kg
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150kg
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卡盤大小
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6" ,360度轉(zhuǎn)動(dòng)，可微調(diào)
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8",360度轉(zhuǎn)動(dòng)，可微調(diào)
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12；360度轉(zhuǎn)動(dòng)，可微調(diào)
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卡盤XY軸行程
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6"6",精度 10um
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8"*8"，精度 10um
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12"*12"3m 度 10um
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卡盤Z軸行程
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快速升降5mm,微調(diào)升降行程6mm,精度1微米
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卡盤材質(zhì)
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不銹鋼鍍金，具備更小的接觸電阻
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卡盤氣浮移動(dòng)范圍
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360度快速移動(dòng)，便于快速定位，提高測(cè)試效率
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卡盤吸附方式
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真空吸附，可選擇環(huán)形吸附或者多孔吸附（適用于薄片）
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背電極測(cè)試功能
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卡盤鍍金，電學(xué)獨(dú)立懸空，帶2個(gè)4mm香蕉頭插口，具備背電極功能
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其它功能
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帶標(biāo)準(zhǔn)接地保護(hù)，可升級(jí)
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針座平臺(tái)
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材質(zhì)
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U型平臺(tái)，Q235鍍銀，帶接地端子
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大小
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最多可放置6個(gè)探針座
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最多可放置8個(gè)探針座 最多可放置12個(gè)探針座
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三段式升降平臺(tái)
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探針平臺(tái)可以快速升降，擁有5mm和300um兩檔，探針平臺(tái)可以上下微調(diào)， 行程25mm,升降精度gm。（使用探針卡的時(shí)候使用）
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顯TH系統(tǒng)
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顯微鏡類型
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體式顯微鏡/視頻顯微鏡/金相顯微鏡+CCD成像系統(tǒng)
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倍率范圍
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16X~200X/40X~280X/20X~4000X
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顯微鏡行程
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具備高剛性龍門架結(jié)構(gòu),XYZ行程分別為2英寸*2英寸*2英寸，精度lum
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CCD成像系統(tǒng)
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2k或者4K相機(jī)，幀率60fps,帶拍照/錄像/測(cè)量功能等功能
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探針座
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種類
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絲桿型/微分頭型/經(jīng)濟(jì)型探針座
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X¥Z行程
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12.5mm-12.5mm-12.5mm
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機(jī)械精度
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0.5um/0.7um/2um
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夾具
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漏電精度
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同軸夾具10pA/H軸夾具lOOfA
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接口形式
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同軸/三軸/SMA/香蕉頭/鱷魚夾/裸線等接口
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其它
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選件
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屏蔽箱/防震桌/射頻/同軸/三軸加熱卡盤/探針卡/光電流顯微鏡/大功率/半自動(dòng)
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電力需求
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220W50HZ
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