http://www.debgrams.com 2025-12-01 14:48 來源:智企新聞網
在現代化半導體晶圓廠(FAB)這座龐大的“芯片城市”中,空中軌道上飛馳的天車搬運系統如同高效運轉的“智能交通網”。OHT如何實現晶圓在數百道工序間高效、平穩、無損的空中傳送?其背后離不開一套強大而智慧的驅動核心。
天車OHT的核心挑戰

1.空間極限:天車小車內部結構緊湊,需在有限空間內最大化裝載量,驅動與電機必須小而強、輕而勁。
2.穩定可靠:晶圓價值昂貴,任何系統抖動或突發停機都可能造成巨大損失。伺服系統必須極致平穩,堅若磐石。
3.智能易用:復雜的產線要求系統能夠快速調試、智能適應不同工況,降低對調試人員的技術依賴。
高創黃金組合--smartPX&PH3

面對挑戰,高創的smartPX多合一驅動一體機與PH3伺服電機并非簡單的部件疊加,而是深度協同、性能互補的一體化解決方案,為OHT帶來全方位的性能躍升。
優勢一:極致緊湊,釋放天車內部空間
高度集成:smartPX以六軸一體的驅動設計,取代傳統的多個獨立驅動器,極大簡化電氣結構,節省寶貴空間。
輕量強勁:PH3電機在緊湊的結構下,蘊藏強勁動力。兩者結合,完美滿足了天車對“小體積、大能量”的苛刻要求,為增加裝載量提供了硬件基礎。
優勢二:極致平穩,守護每一片珍貴晶圓

智能抑振:smartPX內置多種先進抑振技術,能有效抑制機械共振;其輸入整形濾波功能,能完美消除天車啟停及加減速過程中的末端機械抖動,確保晶圓在高速運行中“穩如泰山”。

動力保障:PH3電機在額定3000rpm內可提供高達3.77倍的過載轉矩,應對突發負載;同時在高速區間(最高7000RPM)仍能提供至少1倍的額定轉矩,保障直線疾馳與彎道平穩的順暢切換。
低溫可靠:PH3電機在額定工況下,機殼溫升不高于60K,散熱優異,穩定耐用,從根源上避免了因過熱導致的報警停機,為實現“零損傳輸”保駕護航。
優勢三:極致智能,賦能高效部署與運維
一鍵自整定:smartPX搭配PH3電機,可通過一鍵自整定功能,快速實現最優控制參數匹配,將復雜的調試過程極致簡化,大幅縮短設備上市時間。
自適應控制:方案支持搭配增益表,能針對天車的直線高速、彎道低速等不同工況,自動切換控制參數,實現全程自適應的高性能控制。
摩檫力補償:smartPX的摩檫力自動補償功能,能克服系統非線性因素,確保在任何點位都能實現精準的定位與平滑的速度控制。

在半導體制造這片精密的疆域,每一個細節都決定著最終的成敗。高創運動控制提供的smartPX&PH3一體化解決方案,以其高度集成、卓越性能、極致穩定和智能易用的協同優勢,成功化解了天車OHT系統的核心痛點,成為了半導體晶圓空中高速傳送的可靠基石。