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緊湊、強(qiáng)勁、超平穩(wěn)!smartPX&PH3運(yùn)動(dòng)控制方案破解芯片制造的空間與穩(wěn)定難題

http://www.debgrams.com 2025-12-01 14:48 來源:智企新聞網(wǎng)

在現(xiàn)代化半導(dǎo)體晶圓廠(FAB)這座龐大的“芯片城市”中,空中軌道上飛馳的天車搬運(yùn)系統(tǒng)如同高效運(yùn)轉(zhuǎn)的“智能交通網(wǎng)”。OHT如何實(shí)現(xiàn)晶圓在數(shù)百道工序間高效、平穩(wěn)、無損的空中傳送?其背后離不開一套強(qiáng)大而智慧的驅(qū)動(dòng)核心。

天車OHT的核心挑戰(zhàn)

1.空間極限:天車小車內(nèi)部結(jié)構(gòu)緊湊,需在有限空間內(nèi)最大化裝載量,驅(qū)動(dòng)與電機(jī)必須小而強(qiáng)、輕而勁。

2.穩(wěn)定可靠:晶圓價(jià)值昂貴,任何系統(tǒng)抖動(dòng)或突發(fā)停機(jī)都可能造成巨大損失。伺服系統(tǒng)必須極致平穩(wěn),堅(jiān)若磐石。

3.智能易用:復(fù)雜的產(chǎn)線要求系統(tǒng)能夠快速調(diào)試、智能適應(yīng)不同工況,降低對(duì)調(diào)試人員的技術(shù)依賴。

高創(chuàng)黃金組合--smartPX&PH3

面對(duì)挑戰(zhàn),高創(chuàng)的smartPX多合一驅(qū)動(dòng)一體機(jī)與PH3伺服電機(jī)并非簡(jiǎn)單的部件疊加,而是深度協(xié)同、性能互補(bǔ)的一體化解決方案,為OHT帶來全方位的性能躍升。

優(yōu)勢(shì)一:極致緊湊,釋放天車內(nèi)部空間

高度集成:smartPX以六軸一體的驅(qū)動(dòng)設(shè)計(jì),取代傳統(tǒng)的多個(gè)獨(dú)立驅(qū)動(dòng)器,極大簡(jiǎn)化電氣結(jié)構(gòu),節(jié)省寶貴空間。

輕量強(qiáng)勁:PH3電機(jī)在緊湊的結(jié)構(gòu)下,蘊(yùn)藏強(qiáng)勁動(dòng)力。兩者結(jié)合,完美滿足了天車對(duì)“小體積、大能量”的苛刻要求,為增加裝載量提供了硬件基礎(chǔ)。

優(yōu)勢(shì)二:極致平穩(wěn),守護(hù)每一片珍貴晶圓

智能抑振:smartPX內(nèi)置多種先進(jìn)抑振技術(shù),能有效抑制機(jī)械共振;其輸入整形濾波功能,能完美消除天車啟停及加減速過程中的末端機(jī)械抖動(dòng),確保晶圓在高速運(yùn)行中“穩(wěn)如泰山”。

動(dòng)力保障:PH3電機(jī)在額定3000rpm內(nèi)可提供高達(dá)3.77倍的過載轉(zhuǎn)矩,應(yīng)對(duì)突發(fā)負(fù)載;同時(shí)在高速區(qū)間(最高7000RPM)仍能提供至少1倍的額定轉(zhuǎn)矩,保障直線疾馳與彎道平穩(wěn)的順暢切換。

低溫可靠:PH3電機(jī)在額定工況下,機(jī)殼溫升不高于60K,散熱優(yōu)異,穩(wěn)定耐用,從根源上避免了因過熱導(dǎo)致的報(bào)警停機(jī),為實(shí)現(xiàn)“零損傳輸”保駕護(hù)航。

優(yōu)勢(shì)三:極致智能,賦能高效部署與運(yùn)維

一鍵自整定:smartPX搭配PH3電機(jī),可通過一鍵自整定功能,快速實(shí)現(xiàn)最優(yōu)控制參數(shù)匹配,將復(fù)雜的調(diào)試過程極致簡(jiǎn)化,大幅縮短設(shè)備上市時(shí)間。

自適應(yīng)控制:方案支持搭配增益表,能針對(duì)天車的直線高速、彎道低速等不同工況,自動(dòng)切換控制參數(shù),實(shí)現(xiàn)全程自適應(yīng)的高性能控制。

摩檫力補(bǔ)償:smartPX的摩檫力自動(dòng)補(bǔ)償功能,能克服系統(tǒng)非線性因素,確保在任何點(diǎn)位都能實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)的定位與平滑的速度控制。

在半導(dǎo)體制造這片精密的疆域,每一個(gè)細(xì)節(jié)都決定著最終的成敗。高創(chuàng)運(yùn)動(dòng)控制提供的smartPX&PH3一體化解決方案,以其高度集成、卓越性能、極致穩(wěn)定和智能易用的協(xié)同優(yōu)勢(shì),成功化解了天車OHT系統(tǒng)的核心痛點(diǎn),成為了半導(dǎo)體晶圓空中高速傳送的可靠基石。

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