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如何解決國產(chǎn)半導(dǎo)體芯片制造的核心設(shè)備的“卡脖子”問題，成為亟待解決的問題，新時達眾為興以串聯(lián)所有晶圓制造工藝設(shè)備“動脈”的晶圓傳輸機器人為切入點，憑借自主可控的核心技術(shù)攻克產(chǎn)品研發(fā)難題，為國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的安全發(fā)展提供了強有力的支撐。

Highlights精彩導(dǎo)讀創(chuàng)新構(gòu)型：單機型輕松應(yīng)對復(fù)雜多變的使用場景降本增效：減少空間占用>300%，產(chǎn)能提高>250%，兼容性提升>400%權(quán)威認證：產(chǎn)品、車間雙認證，晶圓傳輸安全無憂

半導(dǎo)體生產(chǎn)工廠潔凈室

需求驅(qū)動 創(chuàng)新巧妙構(gòu)型應(yīng)對嚴苛需求

在大氣生產(chǎn)環(huán)境下，芯片制造包括光刻、蝕刻、薄膜沉積等前道制程，以及封裝、檢測等后道制程設(shè)備，對晶圓傳輸機械手的運行速度及穩(wěn)定性都提出了極高的要求。

為應(yīng)對實際生產(chǎn)環(huán)境對設(shè)備空間、產(chǎn)能效率、多工序協(xié)同等復(fù)雜要求，新時達眾為興FBA系列5軸大氣水平多關(guān)節(jié)型單臂雙手指晶圓搬運機器人匠心面世，以其高精度、高運行速度等優(yōu)勢特點，節(jié)拍突破350WPH，輕松應(yīng)對晶圓生產(chǎn)過程中的高標準需求。

1空間使用率提升300%+

靈活多關(guān)節(jié)設(shè)計，無需行走軸應(yīng)對多樣性晶圓盒，有效節(jié)約機械手占用設(shè)備空間。

2有效應(yīng)對不同場景，兼容性提升400%+

應(yīng)對多工序切換場景（切換晶圓尺寸（8 英寸→12 英寸）、厚度（薄晶圓 / 超薄晶圓）或類型（硅基 / 化合物半導(dǎo)體）），有效提升晶圓片定制化需求。

3突破上限，產(chǎn)能提高250%+

突破單臂單手指路徑單一的瓶頸以及多工藝協(xié)同的需求；1000mm的最遠取片距離，輕松應(yīng)對多料盒/工位（3-4個料盒）的晶圓取放片場景。

權(quán)威認證 每一片晶圓的傳輸保障

為更好服務(wù)客戶，新時達眾為興晶圓傳輸機器人從產(chǎn)品設(shè)計到生產(chǎn)環(huán)境都達到嚴苛的標準要求，實現(xiàn)從設(shè)計、驗證到量產(chǎn)的全流程國產(chǎn)化閉環(huán)。

潔凈車間認證在行業(yè)內(nèi)建成首家 Class 1級潔凈室，并通過德國萊茵TÜV SEMI認證及上海國家機器人檢測與評定中心潔凈等級認證。

產(chǎn)品權(quán)威認證已獲得SEMI-S2、ETL在內(nèi)的多項行業(yè)標準及強制產(chǎn)品認證。

當今世界全球芯片競爭已是一場關(guān)乎未來科技制高點和國家產(chǎn)業(yè)安全的綜合博弈。對起步較晚的國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備而言，這是一場沒有退路的“馬拉松”。

為實現(xiàn)半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化進程的快速迭代，新時達眾為興具備針對不同晶圓廠商在半導(dǎo)體制造各個工藝段中的非標定制化能力，實現(xiàn)更好貼合原有產(chǎn)線的生產(chǎn)需求，全方位提高芯片產(chǎn)出效率及良品率，為半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化替代實現(xiàn)快速、可靠的品質(zhì)服務(wù)。