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勞易測傳感器技術(shù)助力天車搬運系統(tǒng)(OHT)應(yīng)用

http://www.debgrams.com 2024-06-17 09:48 來源:勞易測

隨著半導(dǎo)體行業(yè)的不斷發(fā)展,制造商面臨著提高生產(chǎn)效率和降低成本的挑戰(zhàn)。天車搬運系統(tǒng)(OHT)是半導(dǎo)體制造廠中一種重要的自動搬運系統(tǒng),通過提高物料運輸效率,降低人力成本和減少污染風(fēng)險,改善整體生產(chǎn)流程。

那有關(guān)天車搬運系統(tǒng)(OHT)大家了解多少呢?

“OHT”是 Overhead Hoist Transfer 的縮寫。主要的搬運移載部件為:晶圓加載機 (LPU, Load-Port Unit) 以及前開式晶圓傳送盒 (FOUP , Front Open Unified Pod),而整個OHT搬運系統(tǒng)的組成部分示意為如圖:

而在這樣高效而復(fù)雜的自動化設(shè)備上,作為傳感器專家的勞易測,又有哪些獨到的產(chǎn)品可以發(fā)揮作用呢。

BPS 8條碼定位系統(tǒng)

助力OHT設(shè)備精準(zhǔn)定位

  • 工作距離60~120 mm,緊湊型的設(shè)計,僅60mm的盲區(qū),特別適用于緊湊型設(shè)備;
  • 定位范圍0~10,000,000mm,配合高質(zhì)量的BCB條碼帶可充分滿足行走距離要求;
  • 兼容設(shè)備4m/s的移動速度,充分契合OHT設(shè)備3m/s的最大速度需求;
  • 5VDC/24VDC(適用MA8適配模塊)多種電壓范圍適合不同電子設(shè)備供電要求;
  • RS232/RS485及Modbus數(shù)據(jù)輸出方式,給您提供更多數(shù)據(jù)選擇;
  • BCB 條碼帶有標(biāo)準(zhǔn)25mm高度和47mm高度可選,提供定制高度及長度的服務(wù)。

CR 100經(jīng)濟型固定條碼閱讀器

配合單體條碼附件,可實現(xiàn)OHT小車經(jīng)濟型定位和換速信號獲取

  • 工作距離15~67 mm,小巧的設(shè)計特別適用于緊湊型設(shè)備;
  • 700Hz的掃描頻率,配合單體條碼附件滿足高速運行設(shè)備要求;
  • 5VDC供電要求,更貼PCB控制板電路設(shè)計;
  • RS232數(shù)據(jù)輸出方式,適合單機設(shè)備使用。

PRK 3C系列傳感器

穩(wěn)定檢測,分毫不差

在通用OHT小車上,需要有穩(wěn)定檢測FOUP存在狀態(tài)的光電傳感器。PRK 3C高性能光電傳感器,實現(xiàn)穩(wěn)定檢測的同時,保證快速響應(yīng)的需求,以及條碼閱讀產(chǎn)品的高速觸發(fā)。

  • 帶偏振光鏡片的鏡反射光電傳感器,保證檢測穩(wěn)定性;
  • PRK3C.A3同軸光式傳感器,“0”盲區(qū),即使和反射板貼得再近也有效;
  • 1500Hz掃描頻率,高速運動設(shè)備的首選;
  • IO-Link的調(diào)整功能,可以使參數(shù)設(shè)定一致性更佳,智能化領(lǐng)先一步。
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